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在半導體晶圓搬運、OLED/LCD 面板傳輸、真空腔體輸送等移載傳送設備中,碳化硅(SiC)導軌憑借其獨特性能,在高速、潔凈、高精度的運行環(huán)境中發(fā)揮著關(guān)鍵作用: 1. 高剛性支撐與精準定位 SiC 導軌具有極高的楊氏模量(~400 GPa),剛性遠超金屬或工程塑料。
Tag : 移載傳送設備陶瓷零件,碳化硅陶瓷導軌
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