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在半導體晶圓搬運、OLED/LCD 面板傳輸、真空腔體輸送等移載傳送設備中，碳化硅（SiC）導軌憑借其獨特性能，在高速、潔凈、高精度的運行環(huán)境中發(fā)揮著關鍵作用：

1. 高剛性支撐與精準定位
SiC 導軌具有極高的楊氏模量（~400 GPa），剛性遠超金屬或工程塑料。

可在高速搬運機械臂中保持微米級定位精度與軌跡重復性，減少形變量和振動影響。

特別適用于高精度搬運臂、線性滑臺和交叉滾柱滑軌結構中。

2. 耐磨損、長壽命運行
硬度高（Mohs 9+）、抗劃傷、耐微粒沖刷，適合長期在無潤滑或微潤滑工況下運行。

在低顆粒潔凈室環(huán)境（如 ISO Class 1–5）中，不易產生二次污染。

3. 熱穩(wěn)定性優(yōu)異
熱膨脹系數低（~4.2×10??/K），在熱循環(huán)或熱負載變化時結構穩(wěn)定，不易發(fā)生熱脹冷縮變形。

在加熱傳輸設備、真空熱處理腔體內也能維持軌道精度。

4. 化學惰性，適合真空／腐蝕環(huán)境
SiC 抗腐蝕性能強，可在含氟、含氯等腐蝕性氣體環(huán)境中運行，適合半導體刻蝕、CVD、清洗后段制程設備。

在高真空或潔凈腔體中運行，不脫氣、不析出、低顆粒，是傳統(tǒng)金屬軌道的優(yōu)質替代。

碳化硅導軌與傳統(tǒng)材料對比

材料	剛性	導熱性	熱膨脹	耐磨性	顆粒釋放	適用環(huán)境
鋁合金	中	中	高	差	易氧化	普通環(huán)境
不銹鋼	高	低	中	一般	易磨屑	腐蝕性氣體差
PEEK/塑料	低	低	高	差	易變形	低溫環(huán)境
SiC	極高	高	極低	優(yōu)	極低	潔凈室 / 真空 / 腐蝕

本文標簽: 移載傳送設備陶瓷零件碳化硅陶瓷導軌

精密陶瓷制造商