Zerodur（微晶玻璃陶瓷）在半導(dǎo)體中，主要憑借其“幾乎零熱膨脹系數(shù)”和“超高尺寸穩(wěn)定性”發(fā)揮關(guān)鍵作用： 光刻掩膜基板 用作高精度掩膜板空白基片，保證在紫外／極紫外曝光下不變形，從而實(shí)現(xiàn)納米級(jí)圖形轉(zhuǎn)移。 曝光系統(tǒng)