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Zerodur（微晶玻璃陶瓷）在半導(dǎo)體中，主要憑借其“幾乎零熱膨脹系數(shù)”和“超高尺寸穩(wěn)定性”發(fā)揮關(guān)鍵作用：

光刻掩膜基板

用作高精度掩膜板空白基片，保證在紫外／極紫外曝光下不變形，從而實(shí)現(xiàn)納米級圖形轉(zhuǎn)移。

曝光系統(tǒng)光學(xué)元件

制作鏡筒內(nèi)的反射鏡、分束器、棱鏡等，維持光路穩(wěn)定、波面質(zhì)量高，確保圖形對準(zhǔn)和解析度。

干涉測量與對準(zhǔn)平臺

用于光刻機(jī)、掃描電子顯微鏡（SEM）中的位移臺和標(biāo)尺，保證測量系統(tǒng)在溫度波動(dòng)時(shí)仍保持亞納米級定位精度。

真空／超凈環(huán)境機(jī)械支架

在刻蝕、薄膜沉積等高真空設(shè)備里作為載具或支架，低析出、低揮發(fā)，不會引入雜質(zhì)污染。

晶圓處理夾具與載具

在高溫退火或溫度循環(huán)過程中，Zerodur支架可牢固支撐晶圓而不產(chǎn)生熱應(yīng)力，避免翹曲與裂紋。

本文標(biāo)簽: 半導(dǎo)體光刻掩膜基板半導(dǎo)體微晶玻璃 Zerodur 精密定位臺

精密陶瓷制造商